半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。在半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程中，從芯片生長到最后器件的封裝，幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體。電子氣體成本占IC材料總成本的5%~6%。電子氣體的純度對芯片質(zhì)量有很大的影響。本期，光博會帶您了解這種神奇的“氣體”。

電子氣體按其門類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊氣體三大類。半導(dǎo)體特殊氣體按純度等級和使用場合，又可分為電子級，LSI(大規(guī)模集成電路)級，VLSI(超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級。

其中，高純氣體大多用于超大規(guī)模的集成電路及分離器件、光電子等高科技領(lǐng)域，包括氧氣、氮?dú)狻錃?、氦氣、氬氣?純度通常都是大于99.999%)。特殊氣體則主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝。該類電子氣體主要分為氫化物(超純氫、硅烷、磷烷等)，氟化物(六氟化硫、三氟化氮、四氟化硅等)，碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙烷等)。

半導(dǎo)體特殊氣體市場形勢

根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)，全球電子氣體市場規(guī)模已達(dá)35億美元，其中特殊氣體約占65%。其中，又以美國空氣化工(30%)、美國普萊克斯(20%)、日本昭和電工(15%)、英國BOC(已被德國林德集團(tuán)收購，10%)和法國液化空氣(5%)為首的五大氣體公司占有全球80%以上的特殊氣體市場份額。

而在半導(dǎo)體特殊氣體方面，我國還與國際廠商有著較大的差距。國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)使用的高純電子特氣幾乎全部依賴進(jìn)口。高純度的氣體在存儲運(yùn)輸上存在著一定的技術(shù)難度。據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)顯示，各個電子特殊氣體競爭者無論從成本、價格、交貨期上都相差不大，部分氣體公司的主要優(yōu)勢在危險品保稅倉庫等物流服務(wù)和壟斷性產(chǎn)品上。

加之，我國半導(dǎo)體特殊氣體所能供應(yīng)的種類不全，使得相關(guān)大廠出于成本的考慮，也會將目光投向國際廠商。另外，我國本土氣體公司多是由大化工行業(yè)或工業(yè)氣體轉(zhuǎn)型而來，其技術(shù)水平參差不齊，很難達(dá)到晶圓制造的要求，也成為了制約國內(nèi)半導(dǎo)體特殊氣體發(fā)展的要素之一。

但是，由于近些年來，我國正在大力發(fā)展半導(dǎo)體行業(yè)，與半導(dǎo)體相關(guān)的產(chǎn)品在產(chǎn)值和規(guī)模上的潛力很大。這種市場機(jī)會，也為國內(nèi)半導(dǎo)體特殊氣體的發(fā)展帶來了機(jī)會。

　光博會探討半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展之路

半導(dǎo)體行業(yè)涉及到方方面面，但是任何一個小點(diǎn)都至關(guān)重要。如同，我們進(jìn)行呼吸一樣，看似是很普通的一件事，卻也是不可缺少的一件事。而這口氣，對于半導(dǎo)體行業(yè)來說也同樣重要。

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來源：半導(dǎo)體行業(yè)觀察